我們都知道特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；然而根據供應包裝的不同又分為了：特種氣體和大宗特種氣體。單單是看到了它的性質，我們就能知道它其實是非常危險的氣體，所以成都特種氣體的運輸的管道系統(tǒng)就需要特別注意它的設計：

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管。

2.主管路系統(tǒng)的設計

在確定好氣體房和用氣點以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短,拐彎最少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4）而且多設計了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架里，對于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險源和經常有危險作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BC13，C5F8，C1F3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面樞加熱管道伴熱等。為了精確控制流量在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計，壓力調節(jié)閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。最后管道還要有良好的接地。

以上就是關于特種氣體的管道運輸設計的注意事項，小伙伴們都了解了嗎。如果有需要或者有疑問可以來電咨詢我們或者給我們留言哦~