純氣體的凈化，不僅要了解純化劑和純化裝置的性能及作用，而且還應(yīng)掌握合理的凈化方法和科學(xué)工藝凈化流程，方能達(dá)到純化氣體的目的。通常將氣體純化操作過程，稱作氣休凈化工藝。除去氣體中的雜質(zhì)常用的凈化方法有塵埃濾除法、水氣干燥法、選擇吸附法、催化反應(yīng)法、吸收法、金屬吸氣法和純化裝置提純法等。對于特種氣體的凈化，有精餾法、吸附精餾法、絡(luò)合法、水解法、預(yù)熱分解法、固體吸附法、激光純化法和樹脂凈化法等。

在氣體凈化工藝中，合理的選擇純化劑、催化劑、干燥劑和純化裝置，凈化系統(tǒng)的正確組合及安裝，采取先進(jìn)的凈化方法和合理的凈化工藝流程，掌握凈化原則和操作要點(diǎn)及運(yùn)行管理等，這一系列的工作是制備高純氣體的關(guān)鍵，是直接關(guān)系到氣體凈化質(zhì)量的重大措施。